来自Novacam的光学 3D 轮廓仪TM系统可用于非接触式3D表面和厚度测量，即使在难以触及的空间如钻孔、管道等，也可进行非接触式微米级精度3D测量，获取尺寸、粗糙度、缺陷、振动或厚度数据。

光学3D轮廓仪TM系统

系统组件

NOVACAMTM光学3D轮廓仪TM是一个模块化系统，它的检测能力由其组件共同决定。

主要包括以下组件：

1光学侧视或前视探头：有几种标准尺寸和长度可选，也可以定制

2MICROCAM干涉仪：为光学探头提供光源，并处理从探头接收到的光信号

3运动控制系统

4PC、显示器和操纵杆

光学3D轮廓仪TM系统

特点和优势

NOVACAMTM光学3D轮廓仪TM系统拥有基于光纤的探头，易于与精密载物台、第三方坐标测量机、数控机床或机器人集成，以支持大量的流水线工作。

系统优势：

可用于测量狭窄空间内部、特殊形状物体外形、平面光滑度以及边缘线性度

对被测物体的表面反射度没有要求(从镜面到全黑都可测量)

高速测量，每秒高达100,000个3D点

能够测量静止及运动的物体，包括固体或液体、孔和管的内部、圆柱体的外部等

光学3D轮廓仪TM系统

应用场景

Novacam光学3D轮廓仪TM系统的探测器探头基于光纤的特性，在光学计量行业中具有独特优势，在航空航天、汽车、电力、国防、医疗仪器、电子等多个领域都有应用。应用场景包括尺寸测量、粗糙度测量、缺陷检测（如裂纹、划痕）、半透明材料的厚度测量等。

1尺寸测量

在XY载物台上使用光学3D轮廓仪TM系统采集的硅晶圆表面

2粗糙度

线性粗糙度参数，粗糙度显示为高度和强度图像

3厚度测量

可用于测量单层或多层、透明或半透明材料。图为人工晶状体的2D横截面

4缺陷测量

喷气发动机涡轮盘上枞树型插槽的3D几何形状和缺陷

*以上产品及应用图片均来自Novacam