尼得科株式会社的集团公司尼得科仪器株式会社(旧日本电产三协)开发出了能够在真空环境下工作的液晶基板搬运机器人,该机器人具有与在大气环境下工作同等的关节自由度。

在液晶面板和有机EL等显示器的制造工艺中,为了同时实现生产成本的削减和屏幕尺寸的大型化,不断需要更大的母玻璃基板和更快的处理速度。由于可搬运的玻璃尺寸越大搬运效率就越高,因此近年来对3m×3m大尺寸母玻璃基板的搬运需求不断增加。母玻璃基板的薄膜处理、蒸镀等工艺需要极高洁净度的真空环境,因此,搬运机器人也必须具备能承受真空环境的性能。

尼得科仪器在用于有机EL基板蒸镀工艺的搬运机器人领域中,全球市场份额,本产品也充分运用了该专有技术。在真空环境下工作的机器人,其各个关节都内置了密封装置,以防止空气和灰尘等从机器人的机械臂等内部逸出,这往往是导致可动关节自由度降低的原因。为此,尼得科仪器产品采用了与减速机一体化的磁性密封件,可以将密封件的使用数量控制在小范围,确保了与大气环境同等的自由度。为了满足客户的需求,产品线包括回旋镖式和SCARA式两种臂型,两种臂型采用的是可以通用的单元,有效地控制了成本。

尼得科仪器作为全球颇具实力的综合电机制造商的一员,今后将继续为打造舒适的社会提供有益的解决方案。