随着半导体行业的不断发展,制造商面临着提高生产效率和降低成本的挑战。天车搬运系统(OHT)是半导体制造厂中一种重要的自动搬运系统,通过提高物料运输效率,降低人力成本和减少污染风险,改善整体生产流程。
那有关天车搬运系统(OHT)大家了解多少呢?
“OHT”是 Overhead Hoist Transfer 的缩写。主要的搬运移载部件为:晶圆加载机 (LPU, Load-Port Unit) 以及前开式晶圆传送盒 (FOUP , Front Open Unified Pod),而整个OHT搬运系统的组成部分示意为如图:
而在这样高效而复杂的自动化设备上,作为传感器专家的劳易测,又有哪些独到的产品可以发挥作用呢。
BPS 8条码定位系统
助力OHT设备定位
工作距离60~120 mm,紧凑型的设计,仅60mm的盲区,特别适用于紧凑型设备;
定位范围0~10,000,000mm,配合高质量的BCB条码带可充分满足行走距离要求;
兼容设备4m/s的移动速度,充分契合OHT设备3m/s的大速度需求;
5VDC/24VDC(适用MA8适配模块)多种电压范围适合不同电子设备供电要求;
RS232/RS485及Modbus数据输出方式,给您提供更多数据选择;
BCB 条码带有标准25mm高度和47mm高度可选,提供定制高度及长度的服务。
CR 100经济型固定条码阅读器
配合单体条码附件,可实现OHT小车经济型定位和换速信号获取
工作距离15~67 mm,小巧的设计特别适用于紧凑型设备;
700Hz的扫描频率,配合单体条码附件满足高速运行设备要求;
5VDC供电要求,更贴PCB控制板电路设计;
RS232数据输出方式,适合单机设备使用。
PRK 3C系列传感器
稳定检测,分毫不差
在通用OHT小车上,需要有稳定检测FOUP存在状态的光电传感器。PRK 3C高性能光电传感器,实现稳定检测的同时,保证快速响应的需求,以及条码阅读产品的高速触发。
带偏振光镜片的镜反射光电传感器,保证检测稳定性;
PRK3C.A3同轴光式传感器,“0”盲区,即使和反射板贴得再近也有效;
1500Hz扫描频率,高速运动设备的;
IO-Link的调整功能,可以使参数设定一致性更佳,智能化一步。
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