CPU模块 IC695PNS001 轨道交通轨道

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智能洁净室技术为IC制造保驾护航

　　——访中电四公司市场管理中心总经理张琪

　　随着市场环境的优化升级和国家政策的有利驱动，新能源汽车、智能驾驶、智能终端和5G等下游行业对集成电路的需求激增。而作为典型的高精尖产业，集成电路的制造对生产环境和工艺的要求极为苛刻。其中，洁净室的建设是集成电路制造中的关键环节，对终产品的性能具有至关重要的影响。

　　作为我国早从事洁净室机电设备安装的工程公司之一，中国电子系统工程第四建设有限公司（以下简称“中电四公司”）可为集成电路制造企业提供设计、采购、项目管理、施工、设施管理、洁净室配套产品制造等一体化“交钥匙”工程服务。

　　2021年，在为北京集电控股有限公司（以下简称“北京集电”）建设集成电路车间洁净室项目中，中电四公司为满足客户对环境监测的高精度和高稳定性要求，选择与维萨拉合作，将工业用温湿度变送器HMT330、本质安全型温湿度变送器HMT370EX和温湿度变送器HMT120等系列产品，成功应用于北京集电厂房洁净室。自应用以来，相关仪表和变送器运行稳定，测量准确。

　　纤毫必显 打造高标准的洁净车间

　　穿戴严密封闭的特制防护服和鞋套，经过严格的车间消杀流程，再通过数道相互独立隔离的车间闸门，操作员方能进入标准严苛的集成电路厂房洁净室。不同于一般工业品，集成电路从单晶硅片制造到IC制造再到IC封装的重要步骤，均需在洁净室中完成。无论是微小的粉尘和碎屑，还是无形的环境温度和湿度等，都将对制造过程产生重大影响。

　　“集成电路的制造对生产环境的要求非常高，需要对温度、湿度等参数进行极为jingque、稳定的测量，从而确保生产环境的稳定可靠。”中电四公司市场管理中心总经理张琪表示，“2020年，早在北京集电洁净室项目的投标阶段，我们知道维萨拉的相关产品可完全满足客户对温湿度测量的苛刻需求。于是，我们决定采用维萨拉产品作为测量仪表进行投标，由此也开启了与维萨拉一系列的深度合作。”

　　随着我国集成电路制造工艺的升级，其制造过程需要的洁净程度也水涨船高，这对于洁净室的建设提出了越来越高的要求。据介绍，北京集电所制造的集成电路工艺目前已突破28纳米，对应的洁净室环境温度误差为±0.3°C，湿度误差为±3%。一旦温度和湿度突破限定误差，将显著影响产品的良品率、使用性能和可靠性。

　　针对上述应用环境，维萨拉的多款产品如HMT330、HMT120和HMT370EX在其中扮演重要角色。其中，HMT330可在恶劣环境中和苛刻需求下实现测量，还可针对不同的应用环境实现定制，从而满足多样的客户需求。HMT120则是一款专为洁净室等环境打造的温湿度变送器，智能测量探头可现场更换，轻松实现测量的可追溯性。

　　值得一提的是具有“本质安全”功能的温湿度变送器HMT370EX。即使在误操作或发生故障的情况下，这款产品也不会造成事故或设备损坏。截至目前，该产品已获得多项本质安全认证。除测量相对湿度和温度外，HMT370EX还支持输出其他湿度参数，如露点温度、湿球温度、湿度、混合比、水浓度、水质量分数、水汽压和焓值。

　　“维萨拉产品的测量精度不仅完全满足了洁净室的设计标准，更大幅压缩了标准误差的范围：将其降低至误差的三分之一，达到了湿度±1%、温度±0.1°C，充分保障了洁净室的可靠运行。”张琪补充道，“出于项目整体精度和稳定性的考虑，维萨拉的测量仪表成为我们这个项目的理想选择。”

　　MAU系统中的 HMT330

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